МАГНИТООПТИЧЕСКАЯ ВИЗУАЛИЗАЦИЯ И КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОЛЕЙ ПЛЁНОЧНЫХ ПОСТОЯННЫХ МАГНИТОВ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ

Абстракт

Описана методика контроля микрораспределений магнитного поля плёночных магнитных систем для МЭМС с помощью магнитооптических индикаторных плёнок (МОИП). Для повышения точности и расширения динамического диапазона была разработана новая процедура измерений с помощью вспомогательных градуированных полей смещения, накладываемых на образец в процессе испытаний. При этом вследствие принципа суперпозиции происходит контролируемое смещение изолиний нулевого поля объекта в ту или иную сторону. В этом случае МОИП работает в режиме нуль-индикатора, т.е. устраняется зависимость результатов измерений от конкретного вида передаточной характеристики (нелинейности преобразования). Наложение поля смещения позволяет сдвигать значения порогового поля насыщения МОИП в широких пределах как в области положительных, так и отрицательных значений.