LogoTver State University Repository

СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ ПОСТОЯННЫХ МАГНИТОВ Nd-Fe-B, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Ильяшенко, С.Е. and Залётов, А.Б. and Быков, Д.А. and Чигиринский, С.А. (2005) СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ ПОСТОЯННЫХ МАГНИТОВ Nd-Fe-B, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Вестник ТвГУ. Серия: Физика (2). pp. 66-70. ISSN 1995-0128

[img]
Preview
PDF - Published Version
599kB

Abstract

Найдены условия получения текстурированных плёнок постоянных магнитов из сплавов на основе Nd-Fe-B методом магнетронного распыления на стандартные подложки из монокристаллического кремния. Получены образцы сплошных, дискретных и профилированных плёнок с защитным слоем тантала и подобраны режимы напыления и термической обработки, обеспечивающие получение высокой (до 2 Т) коэрцитивной силы, относительной остаточной намагниченности Mr/Ms > 0,9 и одноосной кристаллической текстуры в направлении, перпендикулярном плоскости. Полученные плёнки могут использоваться в различных микро- и наноэлектромеханических устройствах и твердотельных микромагнитоэлектронных датчиках.

Item Type:Article
Uncontrolled Keywords:Nd-Fe-B;, метод магнетронного распыления, кремний
Subjects:5 Математика. Естественные науки > 53 Физика > 537 Электричество. Магнетизм. Электромагнетизм > 537.6 Магнетизм > 537.62 Процессы намагничивания > 537.622 Магнитные свойства материалов
5 Математика. Естественные науки > 53 Физика > 539 Строение материи > 539.2 Свойства и структура молекулярных систем > 539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок > 539.231 механическим путем, например напылением
Divisions:Университеты > TverSU > Faculties > Physics > Кафедра прикладной физики
ID Code:1125
Deposited By:INVALID USER
Deposited On:08 Jan 2017 08:13
Last Modified:08 Jan 2017 08:13

Repository Staff Only: item control page