LogoTver State University Repository

Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния

Итальянцев, А.Г. and Константинов, В.С. (2018) Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния. Вестник ТвГУ. Серия: Химия (4). pp. 26-33. ISSN 1995-0152

[img] PDF - Published Version
809kB

Abstract

Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2

Abstract (en)

The size effect in Zr-dopped hafnium oxide thin films after RTA was examined. The permanent polarization of the structures with Hf0.5Zn0.5O2 layers of the thickness in the range 10 to 54 nm was measured. It was shown that the permanent polarization decreases by 2.5 times from 16 down to 6 mkC/cm2

Item Type:Article
Additional Information:ИТАЛЬЯНЦЕВ АЛЕКСАНДР ГЕОРГИЕВИЧ - профессор, доктор физико-математических наук, начальник отдела АО «НИИМЭ» , КОНСТАНТИНОВ ВЯЧЕСЛАВ СЕРГЕЕВИЧ - аспирант кафедры микро- и наноэлектроники, научный сотрудник АО «НИИМЭ»
Uncontrolled Keywords:сегнетоэлектричество, оксид гафния, размерный эффект
Keywords (en):ferroelectricity, hafnium oxide, size effect
Subjects:5 Математика. Естественные науки > 53 Физика > 537 Электричество. Магнетизм. Электромагнетизм > 537.2 Статическое электричество. Электростатика > 537.22 Получение электричества. Распределение электричества. Накопление электричества > 537.226 Электрические свойства диэлектриков. Проницаемость. Диэлектрическая прочность. Сегнетоэлектричество > 537.226.4 Сегнетоэлектричество
Divisions: > Московский физико-технический институт, г. Долгопрудный, Московская область
> НИИ молекулярной электроники, Зеленоград, Москва
ID Code:8529
Deposited By: С.Б. Федорова
Deposited On:18 Feb 2019 11:30
Last Modified:18 Feb 2019 11:30

Repository Staff Only: item control page