Итальянцев, А.Г. и Константинов, В.С.
(2018)
Размерные эффекты при импульсном отжиге тонких плёнок оксида гафния.
Вестник ТвГУ. Серия: Химия
(4).
С. 26-33.
ISSN 1995-0152
![[img]](http://eprints.tversu.ru/style/images/fileicons/application_pdf.png) |
PDF
- Опубликованная версия
809kB |
Абстракт
Исследован размерный эффект остаточной поляризации в тонких пленках оксида гафния, легированного цирконием и подвергнутых импульсному термическому отжигу. Измерена остаточная поляризация структур, содержащих слои Hf0.5Zn0.5O2 с толщиной от 10 до 54 нм. Показано, что с увеличением толщины удвоенная остаточная поляризация уменьшается в 2.5 раза с 16 до 6 мкКл/см2
Абстракт (англ.)
The size effect in Zr-dopped hafnium oxide thin films after RTA was examined.
The permanent polarization of the structures with Hf0.5Zn0.5O2 layers of the thickness in the range 10 to 54 nm was measured. It was shown that the permanent polarization decreases by 2.5 times from 16 down to 6 mkC/cm2
| Тип объекта: | Статья |
|---|
| Сведения об авторах: | ИТАЛЬЯНЦЕВ АЛЕКСАНДР ГЕОРГИЕВИЧ - профессор, доктор физико-математических наук, начальник отдела АО «НИИМЭ» ,
КОНСТАНТИНОВ ВЯЧЕСЛАВ СЕРГЕЕВИЧ - аспирант кафедры микро- и наноэлектроники, научный сотрудник АО «НИИМЭ» |
|---|
| Ключевые слова: | сегнетоэлектричество, оксид гафния, размерный эффект |
|---|
| Ключевые слова (англ.): | ferroelectricity, hafnium oxide, size effect |
|---|
| Категории: | 5 Математика. Естественные науки > 53 Физика > 537 Электричество. Магнетизм. Электромагнетизм > 537.2 Статическое электричество. Электростатика > 537.22 Получение электричества. Распределение электричества. Накопление электричества > 537.226 Электрические свойства диэлектриков. Проницаемость. Диэлектрическая прочность. Сегнетоэлектричество > 537.226.4 Сегнетоэлектричество |
|---|
| Подразделения: | Институты, НИИ > Московский физико-технический институт, г. Долгопрудный, Московская область
Институты, НИИ > НИИ молекулярной электроники, Зеленоград, Москва |
|---|
| ID Code: | 8529 |
|---|
| Deposited By: |
С.Б. Федорова
|
|---|
| Deposited On: | 18 Фев 2019 11:30 |
|---|
| Последнее изменение: | 18 Фев 2019 11:30 |
|---|
Repository Staff Only: item control page
