МОЛЕКУЛЯРНО - ДИНАМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТЕЙ И МЕХАНИЗМОВ КОНДЕНСАЦИОННОГО РОСТА ОСТРОВКОВЫХ ПЛЕНОК

Абстракт

На основе метода молекулярной динамики исследовались закономерности и механизмы эпитаксиального роста субмикронных островковых пленок, т.е. пленок диаметром порядка 0,01 мкм. Межатомное взаимодействие в моделированных системах описывалось потенциалом Леннард-Джонса. Показано, что в рассматриваемых системах конденсационный рост островковых пленок осуществляется по механизму Фольмера-Вебера.