Ильяшенко, С.Е. и Залётов, А.Б. и Быков, Д.А. и Чигиринский, С.А. (2005) СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ТОНКОПЛЁНОЧНЫХ ПОСТОЯННЫХ МАГНИТОВ Nd-Fe-B, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Вестник ТвГУ. Серия: Физика (2). С. 66-70. ISSN 1995-0128
Предварительный просмотр |
PDF
- Опубликованная версия
599kB |
Абстракт
Найдены условия получения текстурированных плёнок постоянных магнитов из сплавов на основе Nd-Fe-B методом магнетронного распыления на стандартные подложки из монокристаллического кремния. Получены образцы сплошных, дискретных и профилированных плёнок с защитным слоем тантала и подобраны режимы напыления и термической обработки, обеспечивающие получение высокой (до 2 Т) коэрцитивной силы, относительной остаточной намагниченности Mr/Ms > 0,9 и одноосной кристаллической текстуры в направлении, перпендикулярном плоскости. Полученные плёнки могут использоваться в различных микро- и наноэлектромеханических устройствах и твердотельных микромагнитоэлектронных датчиках.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Ключевые слова: | Nd-Fe-B;, метод магнетронного распыления, кремний |
| Категории: | 5 Математика. Естественные науки > 53 Физика > 537 Электричество. Магнетизм. Электромагнетизм > 537.6 Магнетизм > 537.62 Процессы намагничивания > 537.622 Магнитные свойства материалов 5 Математика. Естественные науки > 53 Физика > 539 Строение материи > 539.2 Свойства и структура молекулярных систем > 539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок > 539.231 механическим путем, например напылением |
| Подразделения: | Университеты > Тверской государственный университет > Факультеты > Физико-технический > Кафедра прикладной физики |
| ID Code: | 1125 |
| Deposited On: | 08 Янв 2017 08:13 |
| Последнее изменение: | 08 Янв 2017 08:13 |
Repository Staff Only: item control page